NovaSensor®的P1302压阻压力芯片的尺寸为2.7x3. 2mm。在恒定电流1.5mA激励下,P1302产生的毫伏电压输出和输入压力成线性比例。P1302适合做差压或表压的传感器。NovaSensor®的SenStable®工艺过程为P1302良好的长期稳定性和卓越的重复性提供了保障。

特点
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标准压力范围:10in H2O (2.5kPa),1psi (7kPa)
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非线性度 < 0.25% FSO
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最大过载压力:5 倍
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芯片尺寸 (WxL):2.7x3.2mm
特征参数
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 最大过载压力 | 5 倍 | 额定压力 | |
| 电气性能 (在 25℃ ( 72°F) 下) 除非另有说明 | |||
| 激励 | 1.5 | mA | 10VDC 最大 |
| 输入阻抗 | 5000±20% | Ω | |
| 输出阻抗 | 5000±20% | Ω | |
| 工作温度 | -40~125 | ℃ | -40°F ~ 257°F |
| 存储温度 | -55~150 | ℃ | -67°F ~ 302°F |
| 介质兼容性 | 清洁、干燥空气和无腐蚀性气体 | ||
| 压力量程 | 2.5kPa | 7kPa | |
| 单位 | 值 (备注 1) | 值 (备注 1) | 备注 |
| 零点偏移 mV | ±75 | ±75 | 1 |
| 满量程输出 mV | 40~120 | 75~200 | |
| 线性度 % FSO | ±0.5 | ±0.25 | 2 |
| 压力迟滞 % FSO | ±0.2 | ±0.2 | |
| 零点温度系数 μV/V/°C | ±30 | ±30 | |
| 电阻温度系数 %/℃ | 0.29 | 0.29 | 3 |
| 灵敏度温度系数 % FSO/℃ | -0.2 | -0.2 | 3 |
| 零点热迟滞 % FSO | 0.75 | 0.5 | 3 |
| 位置灵敏度 % FSO/g | 0.1 | 0.1 | 4 |
备注
- 所有的测量值是在 25℃(77°F) 和 1.5mA 输入激励下测得,除非另有说明。
- 非线性计算采用最佳拟合直线。
- 0~70℃之间,温度系数为典型值。芯片顶部涂覆有硅胶的典型灵敏度数据。
- 芯片性能会因为芯片连接的材料变化,选择与芯片连接的材料时,应尽量减少封装应力对芯片的影响。
运输
所有 wafer 发货时都放置在保护盒内,晶圆和环贴放在胶带上。所有的 wafer 都要进行电性能测试和外观检查。每个 wafer 都抽样检查其零点漂移,满量程输出和线性指标,电性能不合格品用红点标识。外观检查不合格品用蓝点标识。每片 wafer 都标有以下信息:批号,wafer 编号,产品号,合格品数量。
订购信息
部件号:
- 51317:2.5kPa D/G 或 0.36PSID/G (no glass/0.4mm,FSO:40-120mV)
- 51318:7kPa D/G 或 1.02PSID/G (no glass/0.4mm)
- 51433:2.5kPa D/G 或 0.36PSID/G (no glass/0.4mm,FSO:80-120mV)
部件号:
- 51444:6.9kPa D/G 或 1PSID/G (93mil glass/2.8mm)
- 51445:2.5kPa D/G 或 0.36PSID/G (93mil glass/2.3mm)
最低订购量:2wafers 或 900 片左右
[产品说明书]
NovaSensor P1302低压硅压阻压力传感器芯片
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楼宇自动化应用滤网监测;楼宇压力测量
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病人监护呼吸睡眠;液体管理;血液透析仪
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工业应用仪器仪表;通用型
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医用传感器病人监护;重症监护;呼吸护理;医疗仪器
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信号检测压力;超低压力
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家电控制室内空气
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电子产品应用消费;工业
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重症监护呼吸睡眠;医疗器械
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压力特性低压

